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521. 电磁式
MEMS
扭转微镜的建模与闭环控制研究
522. 基于
MEMS
与智能手机电子罗盘的室内定位与导航算法研究
523. 基于Parylene封装的“棒棒糖式”
MEMS
矢量水听器
524. 冲击载荷下
MEMS
微加速度计的结构可靠性研究
525.
MEMS
惯导在旋翼飞行器中导航性能的实验分析
526. Kionix公司推出消耗电流减半的6轴
MEMS
传感器
527. 基于
MEMS
惯性传感器的人体姿态检测系统的研究
528.
MEMS
用硅单晶缺陷对各向异性腐蚀的影响
529. CEEMD阈值滤波在
MEMS
陀螺信号消噪中的应用
530. 基于大数据分析的
MEMS
电镀铜薄膜耐磨性预测
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