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531. 基于MEMS传感器室内导航的系统设计

532. 基于真空电阻焊的MEMS器件级封装研究

533. 针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计

534. 面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计

535. 基于MEMS的电磁激励谐振传感器研究

536. MEMS惯导系统的误差自修正技术研究

537. MEMS可重构带通滤波器设计

538. 基于MEMS组件的行人导航系统关键技术研究

539. 基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究

540. MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统设计

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