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531. 基于MEMS工艺的柔性基底磁通门传感器关键技术研究
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532. 基于MEM模型的金融市场相关性分析与波动溢出研究
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533. 封装内气体对电热驱动MEMS性能影响的有限元分析
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534. 基于ZigBee与MEMS的管道位移检测系统研究与实现
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535. MEMS压电—磁电复合式微能源器件优化设计制造及其性能研究
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536. MEMS传感器结合激光测距在汽车物联网中应用研究
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537. 低成本MEMS惯性测量组件复合标定与误差补偿方法研究
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538. 一种新型RF-MEMS微天线的设计与实现
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539. 面向非硅MEMS的桌面微装配系统模块化设计方法
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540. MEMS加速度传感器测试平台控制系统的研制
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