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543. 太赫兹体硅MEMS多层波纹喇叭天线

544. MEMS电热驱动器的设计与分析

545. 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究

546. 基于MEMS技术的三维无线运动控制研究

547. MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究

548. 基于MEMS微型发动机的装药选择

549. MEMS涂层接触问题的有限元分析

550. 基于自适应滤波的MEMS姿态确定方法

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