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551. 高性能MEMS惯性器件工程化关键技术研究

552. 基于自适应Kalman滤波的MEMS陀螺随机误差分析

553. 压电式MEMS压力传感器的设计与工艺研究

554. MEMS惯性传感器自动批量测试标定系统的研究

555. 高灵敏度宽频带一维MEMS矢量水听器

556. 基于MEMS六轴传感器的上肢运动识别系统

557. 基于MEMS工艺的微机械失效分析研究进展

558. 一种MEMS陀螺仪的飞秒激光修调方法

559. 基于旋转矩阵KF的低成本MEMS姿态解算

560. 双端梁MEMS热电堆红外探测器关键技术研究

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