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561. MEMS穿孔板微执行器Pull

562. 基于电热驱动的MEMS继电器的研制

563. MEMS陀螺仪组合系统及滤波算法设计

564. 基于MEMS的皮拉尼真空压力计研究

565. MEMS数字陀螺中开关电容检测电路的设计

566. 基于MEMS器件的航向姿态测量系统的研究

567. 新型双驱动RF MEMS开关机电特性分析

568. 基于MEMS传感器的手势识别算法研究

569. 基于均匀设计的MEMS陀螺温度标定试验设计

570. 可刚性固定MEMS矢量水听器的设计

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