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563. 基于MEMS惯性传感器的跌倒检测及其防护系统

564. 一种新型MEMS加速度计温度补偿方法研究

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566. 基于柔性MEMS的可植入人工面神经技术研究

567. 物理尺寸对MEMS皮拉尼真空计性能的影响

568. 可穿戴设备中MEMS加速度计降噪方法研究

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