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561. 基于MEMS惯性测量单元的多功能稳定平台关键技术研究

562. 面向5G通信应用的射频MEMS开关设计与制造关键技术研究

563. 基于增敏结构的热丝式MEMS矢量水听器研究

564. 基于MEMS工艺的气体传感器微热板设计、制作与测试

565. 青岛大学MEM专业学位研究生培养模式调查研究

566. MEMS加速度计的1/f噪声分析及滤波技术研究

567. 基于MEMS标矢量一体化水听器的浮标系统设计

568. 基于MEMS传感器/WiFi组合的室内人员定位技术研究

569. 低G值惯性延时MEMS火工品一体化设计

570. 基于MEMS加速度计的高精度倾角传感器研制

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