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562. 基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器

563. 石英MEMS传感器芯片与盒盖封装的热应力分析

564. 一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路

565. 大量程闭环MEMS加速度计非线性分析与优化法

566. 基于支持度和自适应加权的MEMS陀螺信息融合算法

567. MEMS振荡器的温度补偿和低噪声频率合成特性

568. 电磁式MEMS扭转微镜的建模与闭环控制研究

569. 基于MEMS与智能手机电子罗盘的室内定位与导航算法研究

570. 基于Parylene封装的“棒棒糖式”MEMS矢量水听器

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