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563. 基于MEMS工艺的气体传感器微热板设计、制作与测试

564. 青岛大学MEM专业学位研究生培养模式调查研究

565. MEMS加速度计的1/f噪声分析及滤波技术研究

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567. 基于MEMS传感器/WiFi组合的室内人员定位技术研究

568. 低G值惯性延时MEMS火工品一体化设计

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