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581. MEMS压阻式压力传感器技术研究

582. 用于三维成像激光雷达的MEMS扫描镜研究

583. 微热板气体传感器的MEMS工艺研究

584. 基于智能手机MEMS的行人定位方法实证研究

585. 电热式MEMS微镜驱动控制技术研究

586. 基于MEMS陀螺仪姿态检测系统研制

587. MEMS陀螺仪随机序列趋势项提取算法

588. 一种MEMS压电大位移驱动器设计分析

589. 基于MEMS技术的井下工具姿态测量与校正

590. 近红外MEMS闪耀光栅的设计与制作

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