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581. 多铁纳米MEMS传感器性能测试系统设计

582. 基于MEMS微针的新型驱动机构的设计与仿真

583. 基于MEMS的旋翼无人机控制系统的研究

584. 面向芯片原子钟应用的MEMS气室关键技术研究

585. 高精度MEMS微惯性姿态系统的设计与实现

586. MEMS陀螺仪误差机理分析及测试方法研究

587. 基于MEMS陀螺仪的电子稳像算法研究

588. 用于MEMS气体传感器的检测芯片设计与实现

589. 基于微电铸工艺的低应力MEMS安保机构制作

590. 一种MEMS加速度计的动力学特性测试研究

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