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582. 基于MEMS传感器的弹载数字惯性测量组合设计

583. 基于MEMS-INS/GNSS的车载组合导航模型研究

584. 利用阳极键合封装MEMS器件所用离子导电聚合物开发

585. 基于MEMS加速度计和陀螺仪的倾角测量系统的研究

586. 基于MEMS的滑动轴承动压油膜3D检测方法的研究

587. 基于MEMS的声表面波器件设计与制作的关键技术研究

588. 基于MEMS技术的太赫兹可调波导带阻滤波器

589. 相控阵天线用4位分布式MEMS移相器研究

590. MEMS压阻式压力传感器倒装焊封装的研究和发展

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