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581. 用于MEMS气体传感器的控制接口电路的设计与实现
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582. MEM菌生物强化厌氧—接触氧化工艺处理天然橡胶加工废水
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583. 制导火箭弹稳定平台中MEMS陀螺仪降噪技术研究
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584. MEMS振动式微陀螺数字化驱动电路及其振动特性实验研究
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585. 基于MEMS传感器的弹载数字惯性测量组合设计
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586. 基于MEMS-INS/GNSS的车载组合导航模型研究
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587. 利用阳极键合封装MEMS器件所用离子导电聚合物开发
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588. 基于MEMS加速度计和陀螺仪的倾角测量系统的研究
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589. 基于MEMS的声表面波器件设计与制作的关键技术研究
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590. 基于MEMS技术的太赫兹可调波导带阻滤波器
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