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581. 封装内气体对电热驱动MEMS性能影响的有限元分析

582. 基于ZigBee与MEMS的管道位移检测系统研究与实现

583. MEMS压电—磁电复合式微能源器件优化设计制造及其性能研究

584. MEMS传感器结合激光测距在汽车物联网中应用研究

585. 低成本MEMS惯性测量组件复合标定与误差补偿方法研究

586. 一种新型RF-MEMS微天线的设计与实现

587. 面向非硅MEMS的桌面微装配系统模块化设计方法

588. MEMS加速度传感器测试平台控制系统的研制

589. 基于MEMS传感器的虚拟现实射击识别设备与系统

590. 一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器

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