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51. MEMS陀螺随机误差辨识与降噪技术

52. 高过载MEMS环形陀螺制造与测试

53. 基于MEMS器件的惯性测量系统设计

54. MEMS行波超声电机启动特性研究

55. 基于MEMS的太赫兹可调器件研究

56. 基于MEMS的太赫兹可调器件研究

57. MEMS集成复合磁芯双层平面电感研究

58. RF MEMS器件及其集成技术研究

59. 子弹引信MEMS安全系统设计与仿真

60. 基于阵列技术的MEMS虚拟陀螺技术研究

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