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591. 一种
MEMS
加速度计的动力学特性测试研究
592. 基于多
MEMS
惯性传感器的步态分析与研究
593.
MEMS
甲烷传感器特性表征系统的设计与实现
594. 基于SysML的
MEMS
产品概念设计方法研究
595. 基于
MEMS
微镜扫描的三维激光雷达样机系统设计
596. 基于微观尺寸穿孔结构的
MEMS
器件下拉现象的研究
597. 一种
MEMS
加速度计的噪声处理与参数训练方法
598. 基于氮化铝薄膜的新型
MEMS
振动传感器
599. 基于知识工程的引信用
MEMS
机构智能设计系统研究
600. 基于
MEMS
电子听诊器的冠心病心音检测
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