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591. MEMS多层薄膜力学特性研究及测试结构设计

592. 基于MEMS-IMU寻北定向技术研究

593. MEMS可调光衰减器的波长相关损耗优化

594. 基于MEMS机构装配的微夹持器研究

595. MEMS数字倾角仪的标定补偿方法研究

596. 多准则MEMS陀螺随机误差在线建模与实时滤波

597. MEMS传感器三维引线键合系统研制

598. MEMS悬浮结构深反应离子刻蚀保护方法对比研究

599. 激光点火系统用MEMS光开关研究与设计

600. MEMS数字麦克风信号处理电路的设计

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