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601. 基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置

602. 基于MEMS传感融合技术的内镜跟踪定位系统研究

603. 集成高辐射率纳米结构的MEMS红外光源研究

604. 电容式MEMS环形振动陀螺结构设计及加工

605. 精密单点定位与MEMS IMU组合导航系统应用

606. 带边缘场的分数阶MEMS方程的研究

607. 基于MEMS惯性传感器的井下人员定位系统

608. MEMS微桥结构设计与光刻工艺参数优化

609. 基于MEMS数字麦克风阵列的声源定位系统

610. 基于正交误差对准的MEMS陀螺测控电路设计

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