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621. 基于
MEMS
微镜的量子点薄膜成像研究
622. 基于
MEMS
陀螺的地平仪设计与实现
623.
MEMS
矢量水听器的优化设计与实现
624. 基于相移干涉法的
MEMS
离面运动测量
625. 基于
MEMS
工艺的陶瓷薄膜热电偶研制
626. 基于
MEMS
传感器的奶牛姿态识别研究
627.
MEMS
陀螺在片自动测试系统开发
628. 基于激光雷达的二维
MEMS
微镜驱动研究
629. 硅基压电
MEMS
球形矢量水听器设计
630. 旋转弹用
MEMS
陀螺结构优化及性能测试
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