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632. 激光雷达/MEMS微惯性组合室内导航算法研究

633. 基于MEMS惯性器件的行人导航技术研究

634. 一种MEMS陀螺仪量程调节电路设计

635. MEMS惯导系统在线标定与补偿技术研究

636. 基于MEMS惯性器件的姿态测量系统的研究

637. 基于复合薄膜新型压电驱动RF MEMS开关

638. 基于MEMS工艺的微起爆器性能研究

639. 基于MEMS微镜的微型光谱仪设计

640. 高频MEMS阵列耦合谐振器相关性能研究

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