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631. 基于
MEMS
矢量水听器阵列的测向技术研究
632.
MEMS
陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究
633.
MEMS
捷联惯导减振系统设计方法研究
634. 参数激励法提高
MEMS
环式陀螺性能的研究
635. 热失配对
MEMS
上层芯片变形的影响和测量
636. 飞法级
MEMS
电容型传感器读出技术研究
637. 用于生物超快电镜的
MEMS
实验腔研究
638. 尺度效应下功能梯度
MEMS
微板力学特性研究
639.
MEMS
捷联惯导系统的初始对准技术研究
640. 复合结构压阻式
MEMS
压力传感器研究
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