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633. MEMS中氮化硅电介质的空间应用可靠性研究

634. 基于MEMS与GPS的微小型航姿系统设计与实现

635. 基于联合去噪方法的MEMS矢量水听器信号去噪

636. 分布式RF MEMS移相器热致封装效应研究

637. 抑制面内振动干扰的仿生MEMS三维矢量水听器研究

638. MEMS存储设备在计算机系统中应用的关键技术研究

639. 引信用双阈值MEMS万向惯性开关的结构设计与分析

640. 基于MEMS的近红外光谱仪控制方法研究与开发

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