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662. 一种MEMS陀螺随机漂移的高精度建模方法

663. MEMS陀螺捷联惯导系统标定方法研究

664. MEMS电子听诊器微结构设计与验证

665. MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究

666. MEMS多层薄膜力学特性研究及测试结构设计

667. 基于MEMS-IMU寻北定向技术研究

668. MEMS可调光衰减器的波长相关损耗优化

669. 基于MEMS机构装配的微夹持器研究

670. MEMS数字倾角仪的标定补偿方法研究

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