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661. MEMS电容式气压传感器性能测试系统的研究与设计
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662. 基于改进智能优化算法的MEMS矢量水听器的DOA估计
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663. 一种新的车载低成本MEMS陀螺仪快速初始对准算法
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664. 转移石墨烯内部缺陷及其MEMS压阻式微压传感器研究
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665. 嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识
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666. 一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法
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667. 基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究
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668. 利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动
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669. 基于RF MEMS开关的4位分布式移相器的设计
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670. 基于MEMS微镜的长波近红外光谱仪的设计与实现
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