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661. MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究

662. 基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法

663. 硅基MEMS压电式振动能量采集器设计制造及其性能研究

664. 基于MEMS传感器的无线网络地震传感器的设计

665. 基于MEMS的列车舒适度、平稳性无线传感器设计

666. 基于MEMS的可重构天线及多频天线的关键技术研究

667. 一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器

668. 可重构MEMS微波功率耦合器的设计及其可靠性研究

669. 基于MEMS传感器的挖掘机姿态检测系统的研究

670. 基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究

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