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661. 基于高性能黑硅
MEMS
热电堆的激光功率测试方法
662. 硅基
MEMS
压电式振动能量采集器设计制造及其性能研究
663. 基于
MEMS
传感器的无线网络地震传感器的设计
664. 基于
MEMS
的列车舒适度、平稳性无线传感器设计
665. 基于
MEMS
的可重构天线及多频天线的关键技术研究
666. 一种基于
MEMS
的新型镂空压电悬臂梁能量采集器
667. 可重构
MEMS
微波功率耦合器的设计及其可靠性研究
668. 基于
MEMS
传感器的挖掘机姿态检测系统的研究
669. 基于变面积电容传感的大量程
MEMS
加速度计加工工艺研究
670. PZT薄膜的溶胶凝胶法制备及在
MEMS
中的应用研究
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