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671. 新型
MEMS
器件电子封装技术的研究
672.
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惯性组合自标定与应用
673. 基于
MEMS
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674.
MEMS
陀螺随机误差辨识与降噪技术
675. 高过载
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环形陀螺制造与测试
676. 基于
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器件的惯性测量系统设计
677.
MEMS
行波超声电机启动特性研究
678. 基于
MEMS
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679. 基于
MEMS
的太赫兹可调器件研究
680.
MEMS
集成复合磁芯双层平面电感研究
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