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671. 基于LIGA-like工艺的柔性MEMS微电极加工技术研究
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672. 基于MS-IMMIKF的MEMS陀螺输出信号消噪处理
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673. 基于八悬臂梁-中心质量块结构MEMS压电振动能量采集器
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674. 旋转调制技术在MEMS捷联惯导系统中的应用与改进
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675. 基于小波包-神经网络的MEMS加速度计零漂补偿
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676. 基于MEMS微镜的光栅波导角度调制生物传感器设计与研究
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677. 高量程MEMS加速度计的热应力仿真与可靠性评估
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678. 基于MEMS陀螺仪的寻北定向关键技术研究及其系统实现
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679. 基于MEMS技术硅磁敏三极管差分结构制作及特性研究
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680. MEMS地震检波器中抽取滤波器的设计与FPGA实现
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