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683. 非晶合金MEMS引信安全机构超塑性成形的关键技术研究

684. 基于MEMS的热式风速及风量检测技术及单元研究

685. 基于MEMS惯性传感器的AHRS系统关键技术研究

686. 基于MEMS惯性传感器的人体步态分析关键技术研究

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688. 基于RF MEMS开关的相控阵天线的设计研究

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