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681. 基于MEMS技术硅磁敏三极管差分结构制作及特性研究
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682. MEMS地震检波器中抽取滤波器的设计与FPGA实现
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683. 使用MEMS惯性测量单元和拓扑地图的室内定位与导航技术研究
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684. 基于PXI平台的MEMS电场传感器自动测试系统的设计
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685. 高精度数字式MEMS陀螺仪驱动闭环控制系统设计
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686. 用于心血管介入治疗的柔性MEMS电化学阻抗传感器
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687. 改进小波阈值法在MEMS陀螺随机误差分析中的应用
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688. MEMS硅微谐振式压力传感器压力检测元件的设计与研究
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689. MEMS高g值加速度计动态线性校准装置设计及试验验证
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690. UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响
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