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61. 太赫兹体硅MEMS多层波纹喇叭天线

62. MEMS电热驱动器的设计与分析

63. 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究

64. 基于MEMS技术的三维无线运动控制研究

65. MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究

66. 基于MEMS微型发动机的装药选择

67. MEMS涂层接触问题的有限元分析

68. 基于自适应滤波的MEMS姿态确定方法

69. MEMS陀螺旋转导航误差的分析与仿真

70. W波段MEMS腔体滤波器