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691. MEMS系统中微平板结构声振耦合性能研究

692. 基于MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿的研究

693. 冲击环境下MEMS器件的弹性限位块设计（英文）

694. 基于MEMS传感技术的航姿系统算法研究

695. 基于MEMS惯性器件的油井测斜技术研究

696. 基于Zigbee和MEMS的物联网综合实验研究

697. 基于MEMS IMU的车载组合导航技术研究

698. 内腔亚波长光栅MEMS VCSELs的波长调谐范围

699. 基于超材料的MEMS微带天线小型化设计

700. MEMS器件在药物释放中的应用与展望

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