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691. 柔性MEMS太赫兹超材料调控器的设计、性能测试及应用研究
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692. MEMS谐振式加速度计灵敏度提升与量程自适应机制研究
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693. 基于锁相放大器的MEMS半球陀螺性能检测系统研究
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694. 基于MEMS技术的摩擦电/压电复合柔性可穿戴能量采集器研究
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695. 尤政院士谈中国制造与传感器/MEMS的发展前景
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696. MEMS陀螺仪随机误差分析与小波阈值去噪研究
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697. 应用于电容式MEMS加速度计的高精度检测电路设计
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698. 机械振动应力下IMU内MEMS传感器的抗振研究
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699. 基于97单元MEMS变形镜的自适应光学系统SPGD算法实现
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700. 振动式MEMS与接口电路的系统级协同设计方法与关键技术
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