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701. 激光雷达/MEMS微惯性组合室内导航算法研究

702. 基于MEMS惯性器件的行人导航技术研究

703. 一种MEMS陀螺仪量程调节电路设计

704. MEMS惯导系统在线标定与补偿技术研究

705. 基于MEMS惯性器件的姿态测量系统的研究

706. 基于复合薄膜新型压电驱动RF MEMS开关

707. 基于MEMS工艺的微起爆器性能研究

708. 基于MEMS微镜的微型光谱仪设计

709. 高频MEMS阵列耦合谐振器相关性能研究

710. 基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究

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