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711. 全球
MEMS
传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析
712. 采用
MEMS
惯导的小口径管道内检测定位方案可行性研究
713. 基于
MEMS
技术的高密度视网膜假体柔性微电极阵列的研制
714. 基于反铁电薄膜的双稳态
MEMS
面内驱动器集成技术研究
715. 基于
MEMS
工艺的高场非对称性波形离子迁移谱仪的研究
716. 基于
MEMS
电容加速度计的声矢量传感器小型化设计
717. 基于
MEMS
的阵列式扫描探针显微镜测头理论与技术研究
718. 基于
MEMS
传感器的哑铃动作识别与能耗计算系统的设计与实现
719. 基于
MEMS
技术的仿生三轴向压阻矢量水听器的研制
720. 超声键合振动与层间热应力对
MEMS
器件影响的研究
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