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721. 利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究
MEMS
离面运动
722. 基于RF
MEMS
开关的4位分布式移相器的设计
723. 基于
MEMS
微镜的长波近红外光谱仪的设计与实现
724. 基于
MEMS
线阵的便携式中红外水中油浓度速测仪
725. 基于
MEMS
陀螺仪和加速度计的机器人定位系统研究
726. 混合式
MEMS
超级电容器的动力学建模与仿真方法
727. 基于LIGA-like工艺的柔性
MEMS
微电极加工技术研究
728. 基于MS-IMMIKF的
MEMS
陀螺输出信号消噪处理
729. 基于八悬臂梁-中心质量块结构
MEMS
压电振动能量采集器
730. 旋转调制技术在
MEMS
捷联惯导系统中的应用与改进
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