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751. 高可靠性RF MEMS单刀双掷开关设计及加工关键技术研究
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752. 基于MEMS扩散硅压阻式压力传感器智能检测系统的研究
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753. 具有硬弹簧非线性的MEMS振动式陀螺仪驱动模态控制方法（英文）
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754. 基于导电聚合物柔性MEMS微电极的瘫痪康复可植入人工神经系统研究
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755. 基于COMSOL的Ka波段分布式MEMS移相器的结构—热耦合分析
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756. 基于动力学建模与MEMS技术的起重机制动下滑量检测系统研制
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757. 基于钎料球重熔的MEMS微部件自组装及熔滴激光驱动行为
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758. 高灵敏度MEMS加速度计亚波长光栅及柔性梁的设计与优化
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759. 封装残余应力对MEMS微加速度计长期性能稳定性影响机理研究
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760. 基于MEMS传感器的微飞行器航姿算法设计与实验研究
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