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71. MEMS器件分层失效的强化试验技术研究

72. 差分型MEMS矢量水听器的研制

73. MEMS加速度计开环检测电路的设计

74. MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展

75. 基于MEMS惯性器件的个人导航系统研究

76. 差分式MEMS面内加速度计设计

77. MEMS传感器发展现状与应用

78. 基于MEMS重力检测的数字水平仪

79. MEMS加速度计可靠性评价技术

80. MEMS固体微推力器阵列发展研究