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851. 硅基MEMS微波带通滤波器的设计及制备

852. 小量程MEMS电容式压力传感器设计与工艺研究

853. 高功率容量电容式RF MEMS开关失效机理研究

854. 基于MEMS技术的质点振速传感器的研制

855. 基于MEMS辅助的单基线北斗融合测姿算法

856. 基于MEMS扫描激光器的光纤光栅解调仪软件设计

857. 基于CEEMDAN小波包的MEMS水听器信号去噪

858. 基于捷联惯导系统的MEMS陀螺仪信号降噪

859. 基于柔性止动的MEMS惯性开关冲击可靠性强化

860. 引信用MEMS微执行器设计及加工方法的研究

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