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851.
MEMS
惯性器件的主要失效模式和失效机理研究
852.
MEMS
多层薄膜力学特性研究及测试结构设计
853. 基于
MEMS
-IMU寻北定向技术研究
854.
MEMS
可调光衰减器的波长相关损耗优化
855. 基于
MEMS
机构装配的微夹持器研究
856.
MEMS
数字倾角仪的标定补偿方法研究
857. 多准则
MEMS
陀螺随机误差在线建模与实时滤波
858.
MEMS
传感器三维引线键合系统研制
859.
MEMS
悬浮结构深反应离子刻蚀保护方法对比研究
860. 激光点火系统用
MEMS
光开关研究与设计
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