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861.
MEMS
数字麦克风信号处理电路的设计
862. 基于
MEMS
技术的非接触式人体静电测量装置
863. 基于
MEMS
传感融合技术的内镜跟踪定位系统研究
864. 集成高辐射率纳米结构的
MEMS
红外光源研究
865. 电容式
MEMS
环形振动陀螺结构设计及加工
866. 精密单点定位与
MEMS
IMU组合导航系统应用
867. 带边缘场的分数阶
MEMS
方程的研究
868. 基于
MEMS
惯性传感器的井下人员定位系统
869.
MEMS
微桥结构设计与光刻工艺参数优化
870. 基于
MEMS
数字麦克风阵列的声源定位系统
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