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863. 高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究

864. 串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响

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866. 基于MEMS的固体燃料微推进技术研究进展

867. 基于MEMS惯性传感器的人体多运动模式识别

868. 一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真

869. 非硅MEMS器件微装配系统的动静态特性分析

870. 用于细胞导入的MEMS聚焦超声波器件的研究

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