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871. 基于正交误差对准的
MEMS
陀螺测控电路设计
872. 基于
MEMS
技术的集成LED微阵列器件研究
873.
MEMS
温度传感器中ICP刻蚀技术研究
874. 盘结构电容式
MEMS
谐振器相关性能研究
875. 基于
MEMS
加速度传感器的步态识别
876. 低功耗
MEMS
热式风速风向传感器的研究
877.
MEMS
系统中微平板结构声振耦合性能研究
878. 基于
MEMS
陀螺仪随机漂移误差补偿的研究
879. 冲击环境下
MEMS
器件的弹性限位块设计(英文)
880. 基于
MEMS
传感技术的航姿系统算法研究
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