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881. 嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识
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882. 一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法
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883. 基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究
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884. 利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动
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885. 基于RF MEMS开关的4位分布式移相器的设计
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886. 基于MEMS微镜的长波近红外光谱仪的设计与实现
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887. 基于MEMS线阵的便携式中红外水中油浓度速测仪
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888. 基于MEMS陀螺仪和加速度计的机器人定位系统研究
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889. 混合式MEMS超级电容器的动力学建模与仿真方法
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890. 基于LIGA-like工艺的柔性MEMS微电极加工技术研究
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