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81. MEMS器件分层失效的强化试验技术研究

82. 差分型MEMS矢量水听器的研制

83. MEMS加速度计开环检测电路的设计

84. MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展

85. 基于MEMS惯性器件的个人导航系统研究

86. 差分式MEMS面内加速度计设计

87. MEMS传感器发展现状与应用

88. 基于MEMS重力检测的数字水平仪

89. MEMS加速度计可靠性评价技术

90. MEMS固体微推力器阵列发展研究

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