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892. 基于MEMS矢量水听器阵列的测向技术研究

893. MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究

894. MEMS捷联惯导减振系统设计方法研究

895. 参数激励法提高MEMS环式陀螺性能的研究

896. 热失配对MEMS上层芯片变形的影响和测量

897. 飞法级MEMS电容型传感器读出技术研究

898. 用于生物超快电镜的MEMS实验腔研究

899. 尺度效应下功能梯度MEMS微板力学特性研究

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