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903. 用于心血管介入治疗的柔性MEMS电化学阻抗传感器
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904. 改进小波阈值法在MEMS陀螺随机误差分析中的应用
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905. MEMS硅微谐振式压力传感器压力检测元件的设计与研究
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906. MEMS高g值加速度计动态线性校准装置设计及试验验证
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907. UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响
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909. MEMS谐振式加速度计灵敏度提升与量程自适应机制研究
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910. 基于锁相放大器的MEMS半球陀螺性能检测系统研究
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