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911.
MEMS
谐振式压力传感器谐振器设计与分析
912. 基于
MEMS
技术的植入式柔性多触点平面电极阵列
913. 一维
MEMS
矢量水听器的结构设计与工艺制备
914. 基于
MEMS
传感器的道面坡度提取技术研究
915. 基于
MEMS
技术低交叉干扰空间磁矢量传感器研究
916.
MEMS
风速敏感装置在高速飞行体上的应用
917. 基于
MEMS
的轻量型位姿测量系统关键技术研究
918. 基于氮化铝的压电谐振式
MEMS
加度计研究
919. 非晶合金
MEMS
引信安全机构超塑性成形的关键技术研究
920. 基于
MEMS
的热式风速及风量检测技术及单元研究
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