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921. 用于
MEMS
气体传感器的检测芯片设计与实现
922. 基于微电铸工艺的低应力
MEMS
安保机构制作
923. 一种
MEMS
加速度计的动力学特性测试研究
924. 基于多
MEMS
惯性传感器的步态分析与研究
925.
MEMS
甲烷传感器特性表征系统的设计与实现
926. 基于SysML的
MEMS
产品概念设计方法研究
927. 基于
MEMS
微镜扫描的三维激光雷达样机系统设计
928. 基于微观尺寸穿孔结构的
MEMS
器件下拉现象的研究
929. 一种
MEMS
加速度计的噪声处理与参数训练方法
930. 基于氮化铝薄膜的新型
MEMS
振动传感器
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