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931. 基于反铁电薄膜的双稳态MEMS面内驱动器集成技术研究
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932. 基于MEMS工艺的高场非对称性波形离子迁移谱仪的研究
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933. 基于MEMS电容加速度计的声矢量传感器小型化设计
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934. 基于MEMS的阵列式扫描探针显微镜测头理论与技术研究
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935. 基于MEMS传感器的哑铃动作识别与能耗计算系统的设计与实现
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936. 基于MEMS技术的仿生三轴向压阻矢量水听器的研制
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937. 超声键合振动与层间热应力对MEMS器件影响的研究
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938. 基于BLF技术的输出调节及其在MEMS扭转微镜中的应用
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939. 面向MEMS真空封装的3D纳米支架基吸气剂的制备和性能研究
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940. 基于MEMS技术的单刀双掷开关与可重构天线阵列的研究
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